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期刊
信息
国内刊号:
CN 22-1128/O6
国际刊号:
ISSN 1000-0518
主 管:
中国科学院
主 办:
中国科学院长春应用化学研究所中国化学会
当期
目录
2021, 38(9)
2021-09-01
2021年 38卷 9期 刊出日期:2021-09-01
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封面图片
二氧化碳基聚碳酸环己撑酯电子束光刻胶显影工艺优化
陆新宇, 马彬泽, 罗皓, 齐欢, 李强, 伍广朋
封面图片 2021, (9): 0-0.
摘要 (
1062
)
PDF (38692KB)(
1381
)
专辑序言
《光刻胶材料》专辑序言——光刻胶材料助力“中国芯”
季生象
专辑序言 2021, (9): 1027-1028.
DOI:
10.19894/j.issn.1000-0518.210412
摘要 (
814
)
PDF (508KB)(
780
)
综合评述
先进光刻技术:导向自组装
胡晓华, 熊诗圣
综合评述 2021, (9): 1029-1078.
DOI:
10.19894/j.issn.1000-0518.210278
摘要 (
4000
)
PDF (11532KB)(
1546
)
光刻胶成膜剂:发展与未来
朋小康, 黄兴文, 刘荣涛, 张永文, 张诗洋, 刘屹东, 闵永刚
综合评述 2021, (9): 1079-1090.
DOI:
10.19894/j.issn.1000-0518.210152
摘要 (
1013
)
PDF (3806KB)(
1590
)
g-线/i-线光刻胶研究进展
顾雪松, 李小欧, 刘亚栋, 季生象
综合评述 2021, (9): 1091-1104.
DOI:
10.19894/j.issn.1000-0518.210265
摘要 (
2836
)
PDF (3477KB)(
3393
)
193 nm化学放大光刻胶研究进展
李小欧, 顾雪松, 刘亚栋, 季生象
综合评述 2021, (9): 1105-1118.
DOI:
10.19894/j.issn.1000-0518.210264
摘要 (
1628
)
PDF (2709KB)(
2715
)
光敏聚酰亚胺光刻胶研究进展
郭海泉, 杨正华, 高连勋
综合评述 2021, (9): 1119-1137.
DOI:
10.19894/j.issn.1000-0518.210274
摘要 (
3439
)
PDF (3669KB)(
4971
)
高分辨率极紫外光刻胶的研究进展
高佳兴, 陈龙, 玉佳婷, 郭旭东, 胡睿, 王双青, 陈金平, 李嫕, 杨国强
综合评述 2021, (9): 1138-1153.
DOI:
10.19894/j.issn.1000-0518.210221
摘要 (
1489
)
PDF (4690KB)(
2070
)
面向极紫外:光刻胶的发展回顾与展望
崔昊, 王倩倩, 王晓琳, 何向明, 徐宏
综合评述 2021, (9): 1154-1167.
DOI:
10.19894/j.issn.1000-0518.210189
摘要 (
1914
)
PDF (2020KB)(
2919
)
上海光源极紫外光刻胶检测平台
赵俊, 杨树敏, 薛超凡, 吴衍青, 陈宜方, 邰仁忠
综合评述 2021, (9): 1168-1174.
DOI:
10.19894/j.issn.1000-0518.210190
摘要 (
1253
)
PDF (1636KB)(
1187
)
量子点光刻技术及其显示应用
张萍萍, 杨高岭, 康果果, 石建兵, 钟海政
综合评述 2021, (9): 1175-1188.
DOI:
10.19894/j.issn.1000-0518.210156
摘要 (
1927
)
PDF (3011KB)(
1907
)
研究论文
二氧化碳基聚碳酸环己撑酯电子束光刻胶显影工艺优化
陆新宇, 马彬泽, 罗皓, 齐欢, 李强, 伍广朋
研究论文 2021, (9): 1189-1198.
DOI:
10.19894/j.issn.1000-0518.210149
摘要 (
718
)
PDF (38692KB)(
534
)
基于卷积运算的嵌段共聚物自组装图像缺陷分析统计方法
田昕, 赖翰文, 刘亚栋, 季生象
研究论文 2021, (9): 1199-1208.
DOI:
10.19894/j.issn.1000-0518.210121
摘要 (
582
)
PDF (25952KB)(
342
)
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