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• 二氧化碳基聚碳酸环己撑酯电子束光刻胶显影工艺优化
• 陆新宇, 马彬泽, 罗皓, 齐欢, 李强, 伍广朋
• 封面图片 2021, (9): 0-0.
• 摘要 ( 1088 ) PDF (38692KB)( 1398 )

专辑序言

• 《光刻胶材料》专辑序言——光刻胶材料助力“中国芯”
• 季生象
• 专辑序言 2021, (9): 1027-1028. DOI:10.19894/j.issn.1000-0518.210412
• 摘要 ( 833 ) PDF (508KB)( 797 )

综合评述

• 先进光刻技术:导向自组装
• 胡晓华, 熊诗圣
• 综合评述 2021, (9): 1029-1078. DOI:10.19894/j.issn.1000-0518.210278
• 摘要 ( 4155 ) PDF (11532KB)( 1613 )

• 光刻胶成膜剂:发展与未来
• 朋小康, 黄兴文, 刘荣涛, 张永文, 张诗洋, 刘屹东, 闵永刚
• 综合评述 2021, (9): 1079-1090. DOI:10.19894/j.issn.1000-0518.210152
• 摘要 ( 1036 ) PDF (3806KB)( 1725 )

• g-线/i-线光刻胶研究进展
• 顾雪松, 李小欧, 刘亚栋, 季生象
• 综合评述 2021, (9): 1091-1104. DOI:10.19894/j.issn.1000-0518.210265
• 摘要 ( 2986 ) PDF (3477KB)( 3746 )

• 193 nm化学放大光刻胶研究进展
• 李小欧, 顾雪松, 刘亚栋, 季生象
• 综合评述 2021, (9): 1105-1118. DOI:10.19894/j.issn.1000-0518.210264
• 摘要 ( 1694 ) PDF (2709KB)( 2908 )

• 光敏聚酰亚胺光刻胶研究进展
• 郭海泉, 杨正华, 高连勋
• 综合评述 2021, (9): 1119-1137. DOI:10.19894/j.issn.1000-0518.210274
• 摘要 ( 3539 ) PDF (3669KB)( 5358 )

• 高分辨率极紫外光刻胶的研究进展
• 高佳兴, 陈龙, 玉佳婷, 郭旭东, 胡睿, 王双青, 陈金平, 李嫕, 杨国强
• 综合评述 2021, (9): 1138-1153. DOI:10.19894/j.issn.1000-0518.210221
• 摘要 ( 1535 ) PDF (4690KB)( 2162 )

• 面向极紫外:光刻胶的发展回顾与展望
• 崔昊, 王倩倩, 王晓琳, 何向明, 徐宏
• 综合评述 2021, (9): 1154-1167. DOI:10.19894/j.issn.1000-0518.210189
• 摘要 ( 1962 ) PDF (2020KB)( 3052 )

• 上海光源极紫外光刻胶检测平台
• 赵俊, 杨树敏, 薛超凡, 吴衍青, 陈宜方, 邰仁忠
• 综合评述 2021, (9): 1168-1174. DOI:10.19894/j.issn.1000-0518.210190
• 摘要 ( 1285 ) PDF (1636KB)( 1259 )

• 量子点光刻技术及其显示应用
• 张萍萍, 杨高岭, 康果果, 石建兵, 钟海政
• 综合评述 2021, (9): 1175-1188. DOI:10.19894/j.issn.1000-0518.210156
• 摘要 ( 1966 ) PDF (3011KB)( 1966 )

研究论文

二氧化碳基聚碳酸环己撑酯电子束光刻胶显影工艺优化
陆新宇, 马彬泽, 罗皓, 齐欢, 李强, 伍广朋
研究论文 2021, (9): 1189-1198. DOI:10.19894/j.issn.1000-0518.210149
摘要 ( 742 ) PDF (38692KB)( 545 )

基于卷积运算的嵌段共聚物自组装图像缺陷分析统计方法
田昕, 赖翰文, 刘亚栋, 季生象
研究论文 2021, (9): 1199-1208. DOI:10.19894/j.issn.1000-0518.210121
摘要 ( 600 ) PDF (25952KB)( 344 )