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先进光刻技术:导向自组装
胡晓华, 熊诗圣
Advanced Lithography: Directed Self-Assembly
HU Xiao-Hua, XIONG Shi-Sheng
应用化学 . 2021, (
9
): 1029 -1078 . DOI: 10.19894/j.issn.1000-0518.210278
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