应用化学
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许小红a;b;武海顺a;张富强a;张聪杰a;金志浩b
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摘要： X射线光电子能谱;氮化铝薄膜的组成分析
关键词: X射线光电子能谱, 氮化铝薄膜的组成分析
Abstract: X射线光电子能谱;氮化铝薄膜的组成分析
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许小红, 武海顺, 张富强, 张聪杰, 金志浩. 氮化铝薄膜的组成分析[J]. 应用化学.
许小红a;b;武海顺a;张富强a;张聪杰a;金志浩b. 氮化铝薄膜的组成分析[J]. Chinese Journal of Applied Chemistry.
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