半导体硅上电沉积Ni-Pd-P薄膜及其结构

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半导体硅上电沉积Ni-Pd-P薄膜及其结构

刘冰, 姚素薇, 郭鹤桐, 袁华堂, 张允什

出版日期:1999-01-10 发布日期:1999-01-10

Published:1999-01-10 Online:1999-01-10

摘要/Abstract

刘冰, 姚素薇, 郭鹤桐, 袁华堂, 张允什. 半导体硅上电沉积Ni-Pd-P薄膜及其结构[J]. 应用化学.

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