Chinese Journal of Applied Chemistry

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金属铜表面的三维齿状图形的化学微加工

刘柱方;蒋利民;汤儆;刘品宽;孙立宁;田中群;田昭武   

  1. 厦门大学,哈尔滨工业大学
  • Received:2009-06-29 Revised:2009-06-29 Published:2004-03-10 Online:2004-03-10
  • Contact: 刘柱方;蒋利民;汤儆;刘品宽;孙立宁;田中群;田昭武

Abstract: 金属铜表面的三维齿状图形的化学微加工;约束刻蚀剂层技术(CELT);化学刻蚀

CLC Number: