Chinese Journal of Applied Chemistry

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超支化聚酯微光学光致抗蚀剂

冯宗财a;赵凌b;王跃川b;杜春雷c   

  1. a湛江师范学院化学系;b四川大学高分子材料工程国家重点实验室;c中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
  • Received:2009-06-29 Revised:2009-06-29 Published:2006-07-10 Online:2006-07-10
  • Contact: 冯宗财a;赵凌b;王跃川b;杜春雷c

Abstract: 超支化聚酯微光学光致抗蚀剂;超支化聚合物;光致抗蚀剂;微透镜阵列

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