界面微分电容法单晶硅表面单分子膜质量的检测
孙乔玉, CatherineHenrydeVilleneuve, 力虎林, Philippe Allongue
界面微分电容法单晶硅表面单分子膜质量的检测
孙乔玉;CatherineHenrydeVilleneuve;力虎林;PhilippeAllongue
应用化学 . 2002, (6): 539 -543 .