中华医学超声杂志
磁控溅射制备择优取向氮化铝薄膜
许小红, 武海顺, 张聪杰, 金志浩
磁控溅射制备择优取向氮化铝薄膜
许小红;武海顺;张聪杰;金志浩
应用化学 . 2000, (4): 411 -413 . 

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