二氧化碳基聚碳酸环己撑酯电子束光刻胶显影工艺优化

陆新宇, 马彬泽, 罗皓, 齐欢, 李强, 伍广朋

Optimization of Development Process for Carbon Dioxide-Based Poly(cyclohexene carbonate) Electron Beam Resist

LU Xin-Yu, MA Bin-Ze, LUO Hao, QI Huan, LI Qiang, WU Guang-Peng

应用化学 . 2021, (9): 0 -0 .