应用化学
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刘柱方;蒋利民;汤儆;刘品宽;孙立宁;田中群;田昭武
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摘要： 金属铜表面的三维齿状图形的化学微加工;约束刻蚀剂层技术(CELT);化学刻蚀
关键词: 金属铜表面的三维齿状图形的化学微加工, 约束刻蚀剂层技术(CELT), 化学刻蚀
Abstract: 金属铜表面的三维齿状图形的化学微加工;约束刻蚀剂层技术(CELT);化学刻蚀
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刘柱方, 蒋利民, 汤儆, 刘品宽, 孙立宁, 田中群, 田昭武. 金属铜表面的三维齿状图形的化学微加工[J]. 应用化学.
刘柱方;蒋利民;汤儆;刘品宽;孙立宁;田中群;田昭武. 金属铜表面的三维齿状图形的化学微加工[J]. Chinese Journal of Applied Chemistry.
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