摘要： 本文研究了用喷涂法制备高透明、高电导率的ITO薄膜,建立了简单、适宜的喷涂实验装置,探讨了不同In/Sn重量比、温度等工艺条件对膜透光率、电阻率的影响,对膜的光电性能和结构进行了测试;波长在500—800nm范围内分别在普通玻璃和硼硅酸盐玻璃片上获得了方块电阻达2—5Ω/口,透光率大于80%的ITO膜和方块电阻达6Ω/口,透光率达90—98%的ITO薄膜。
刘雅言, 韩桂林, 王岚, 刘连元. ITO薄膜的制备和性质[J]. 应用化学, 1983, 0(1): 99-102.
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