应用化学
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冯宗财a;赵凌b;王跃川b;杜春雷c
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摘要： 超支化聚酯微光学光致抗蚀剂;超支化聚合物;光致抗蚀剂;微透镜阵列
关键词: 超支化聚酯微光学光致抗蚀剂, 超支化聚合物, 光致抗蚀剂, 微透镜阵列
Abstract: 超支化聚酯微光学光致抗蚀剂;超支化聚合物;光致抗蚀剂;微透镜阵列
中图分类号:
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冯宗财, 赵凌, 王跃川, 杜春雷. 超支化聚酯微光学光致抗蚀剂[J]. 应用化学.
冯宗财a;赵凌b;王跃川b;杜春雷c. 超支化聚酯微光学光致抗蚀剂[J]. Chinese Journal of Applied Chemistry.
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