胍基硅前驱体的合成及应用

马潇^a, 许从应^a,^*, 许东升^b, 丁玉强^a, 金成刚^c, 季佩宇^c

Synthesis and Application of Guanidinato Silicon Precursors

MA Xiao^a, XU Chongying^a, XU Dongsheng^b, DING Yuqiang^a, JIN Chenggang^c, JI Peiyu^c

螺旋波等离子体气相沉积(HWPCVD)示意图