g-线/i-线光刻胶研究进展
顾雪松, 李小欧, 刘亚栋, 季生象
Research Progress on g-Line and i-Line Photoresists
GU Xue-Song, LI Xiao-Ou, LIU Ya-Dong, JI Sheng-Xiang
应用化学 . 2021, (9): 1091 -1104 .  DOI: 10.19894/j.issn.1000-0518.210265